[发明专利]衬底制造方法在审
| 申请号： | 201880055845.7 | 申请日： | 2018-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN111065765A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 田中敦之;河口大祐 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人名古屋大学;浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;B28D5/04;C30B33/02;H01L21/304;B23K26/53 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种与衬底制造方法相关的技术。衬底制造方法具有照射工序，从与氮化镓的(GaN)晶锭的表面大致垂直的方向向晶锭的内部照射激光，来形成析出了镓且与晶锭的表面大致平行的改性层。衬底制造方法具有分离工序，通过溶解改性层，从而以形成了改性层的位置作为边界来使晶锭相互分离。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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