[发明专利]微粒检测元件以及微粒检测器

摘要

微粒检测元件具备：壳体(12)，其具有供气体通过的气体流路(13)；电荷产生部(20)，其对导入至壳体(12)内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷，由此使该微粒形成为带电微粒；捕集部(42)，其具有一个以上的捕集电极，该捕集电极以在气体流路(13)露出的方式设置于壳体(12)内，并对带电微粒和未附加于微粒的电荷的任一者、即捕集对象进行捕集；以及加热部(62)，其对捕集电极进行加热。壳体(12)具有一个以上的捕集电极配设壁部(15)，在该捕集电极配设壁部配设有至少一个捕集电极。捕集电极配设壁部(15)的至少一个在与气体流路(13)的中心轴垂直的截面中呈中央部分的厚度比除此以外的部分的厚度薄的中央减薄形状。