[发明专利]太阳能电池的制造方法、太阳能电池以及太阳能电池模块有效

专利信息
申请号: 201880058091.0 申请日: 2018-09-11
公开(公告)号: CN111095571B 公开(公告)日: 2023-05-12
发明(设计)人: 入江畅;吉田航;吉河训太 申请(专利权)人: 株式会社钟化
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224
代理公司: 北京市隆安律师事务所 11323 代理人: 权鲜枝;刘宁军
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供抑制电极层间的漏电流的增加、抑制填充因子的下降的太阳能电池的制造方法。太阳能电池的制造方法是背面电极型的太阳能电池(1)的制造方法,太阳能电池(1)具备:半导体基板(11),其在背面侧具有凹凸结构;第1导电型半导体层(25)和第1电极层(27),其层叠在半导体基板(11)的背面侧;以及第2导电型半导体层(35)和第2电极层(37),太阳能电池(1)的制造方法包含:电极材料膜形成工序,在第1导电型半导体层(25)和第2导电型半导体层(35)上,使用物理气相生长法形成电极材料膜;以及图案化工序,进行将电极材料膜的一部分除去的图案化,以在Y方向上延伸并且在与Y方向交叉的X方向上排列的方式形成带状的第1电极层(27)和第2电极层(37),在电极材料膜形成工序中,一边在X方向上搬运半导体基板(11),一边形成电极材料膜。
搜索关键词: 太阳能电池 制造 方法 以及 模块
【主权项】:
暂无信息
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