[发明专利]用于制造同质结光伏电池的方法有效

专利信息
申请号: 201880058748.3 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN111052408B 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 拉斐尔·卡巴尔 申请(专利权)人: 原子能和替代能源委员会
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 该方法包括以下步骤:a)提供晶体硅衬底(1),其包括:‑第一表面(10);‑第二表面(11),其与所述第一表面(10)相对,并且覆盖有至少一层隧道氧化膜(2);b)在所述隧道氧化膜(2)上形成多晶硅层;c)在所述多晶硅层的一部分(3a)上形成第一防反射层(4),使得所述多晶硅层具有自由区域,所述第一防反射层(4)适于为多晶硅层(3)的所述部分(3a)的热氧化提供阻挡;d)使所述多晶硅层的自由区域热氧化,以便在所述自由区域上形成第二防反射层(5)。
搜索关键词: 用于 制造 同质 结光伏 电池 方法
【主权项】:
暂无信息
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