[发明专利]用于从物体保持件移除污染物的研磨工具和方法在审
| 申请号： | 201880059335.7 | 申请日： | 2018-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN111095113A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | D·索拉比巴巴黑德利;K·M·利维;王青松 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用研磨工具对物体保持件的支撑表面进行处理的方法，研磨工具包括用于定位在物体保持件上、并与物体保持件接触的基本平坦的表面，其中研磨工具的基本平坦的表面在基本平坦的表面的预定区域内具有选自约1nm Ra至约100nm Ra范围内的粗糙度、具有小于或等于约3000nm的平坦度，或在基本平坦的表面的预定区域内具有至少约15nm Ra的粗糙度、以及小于或等于约3000nm的平坦度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物体 保持 污染物 研磨 工具 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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