[发明专利]坩埚支承底座、石英坩埚支承装置及单晶硅的制造方法有效
| 申请号： | 201880062777.7 | 申请日： | 2018-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN111373080B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 宗实贤二 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;陈浩然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的坩埚支承底座（12）具备能够嵌合分割石墨部件（11）的嵌合凹部（122），嵌合凹部（122）的开口边缘（123）构成为，与分割石墨部件（11）接触的接触部（P1）设置在比培育单晶硅之后残留在石英坩埚（221）的硅熔液的固化物（M1）的表面更高的位置，伴随着硅熔液固化时的膨胀而作用在分割石墨部件（11）的力作用在比接触部（P1）更低的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 支承 底座 石英 装置 单晶硅 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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