[发明专利]用于制造光电子半导体组件的方法和光电子半导体组件有效
申请号: | 201880069141.5 | 申请日: | 2018-11-28 |
公开(公告)号: | CN111630734B | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 延斯·穆勒 | 申请(专利权)人: | 欧司朗OLED股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/02 | 分类号: | H01S5/02;H01L33/00 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于制造光电子半导体组件(1)的方法,其具有如下步骤:A)使用于产生辐射的半导体层序列(3)生长在生长衬底(2)上,B)将半导体层序列(3)结构化为发射支路(11),使得相邻的发射支路(11)之间的空隙(12)中的半导体层序列(3)被移除,C)施加钝化层(4),其中半导体层序列(3)在背离生长衬底(2)的波导触点(51)处至少部分地保持露出并且空隙(12)至少部分地保持露出,D)产生至少一个金属层(50),所述至少一个金属层从波导触点(51)延伸进入空隙(12)中,E)通过载体(6)代替生长衬底(2),F)在载体(6)中创建通孔(53),使得金属层(50)和半导体层序列(3)的朝向载体(6)的下侧触点(52)电接触,以及移除在发射支路(11)的至少一些之间和在沿着发射支路(11)彼此相随的发射单元(13)之间的载体(6),并且G)折断在发射单元(13)之间的半导体层序列(3),使得形成棱面(31)。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 光电子 半导体 组件 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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