[发明专利]图案描绘装置有效
| 申请号： | 201880069602.9 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111279244B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪;中山修一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B13/00;G02B13/18;G02B26/12;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;汤在彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案描绘装置，其具备：第1圆柱透镜CYa，其供来自光源装置的光束LB入射，且具有使朝向多面镜PM的反射面RPa的光束LB于与主扫描方向正交的副扫描方向上收敛的各向异性的折射率；fθ透镜系统FT，其用以供借由多面镜PM的反射面RPa偏向的光束LB入射，且将该光束LB于被照射体的表面Po上聚光为点光SP；及第2圆柱透镜CYb，其具有使自fθ透镜系统FT射出并朝向表面Po的光束LB于副扫描方向上收敛的各向异性的折射率。以于fθ透镜系统FT的视野内通过光束扫描范围的周边像高的位置而入射至第2圆柱透镜CYb前产生的光束LB的弧矢彗星像差引起的弯曲量成为艾瑞斑半径以下的方式，设定上述第2光学系统的焦距。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 描绘 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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