[发明专利]硅块的品质判定方法、硅块的品质判定程序及单晶硅的制造方法在审
| 申请号： | 201880070815.3 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111601916A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 斋藤康裕;工藤智司;仓垣俊二;金大基 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种硅块的品质判定方法，其判定从利用提拉法提拉的单晶硅中切出的多个硅块的品质，在该硅块的品质判定方法中执行：取得从多个硅块各自的端部切出的样品晶片的品质评价结果的步骤(S2)；取得单晶硅的提拉实际数据的步骤(S3)；根据各样品晶片的品质评价结果，设定各硅块的提拉管理范围的步骤(S6、S7)；以及对照所取得的提拉实际数据和所设定的提拉管理范围，判定各硅块的品质的步骤(S8、S9)。 | ||
| 搜索关键词： | 品质 判定 方法 程序 单晶硅 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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