[发明专利]包括洁净迷你环境的装置有效
| 申请号： | 201880072606.2 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111344522B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | B·H·L·林德布姆;J·基耶瑟 | 申请（专利权）人： | 阿斯莫IP控股公司 |
| 主分类号： | F24F8/10 | 分类号： | F24F8/10;F24F13/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 丁晓峰 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明关于一种装置(10)，其包括气体再循环回路，该气体再循环回路包含藉由再循环通道(20)连接的迷你环境腔室(14)、气泵(16)、过滤器组件(22)。该装置另外包括空气供应管道(18)，该空气供应管道用于将空气供应至该气体再循环回路且具有开放至环境空气中的空气供应管道入口(18a)及在该再循环回路中开放的空气供应管道出口(18b)。在使用中，迷你环境腔室压力(Pme)经维持高于环境压力(Pam)。该气体再循环通道(20)包括具体化为喉部(30)的基本上无摩擦再循环限制件。在该喉部的形成该喉部的窄部分的下游末端处，在使用中，静态压力在该环境压力以下。该空气供应管道出口在该喉部的该下游末端(30a)处开放。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 洁净 迷你 环境 装置 | ||
【主权项】：
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