[发明专利]光学器件在审
申请号: | 201880073424.7 | 申请日: | 2018-09-04 |
公开(公告)号: | CN111344623A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;B81B3/00;G02B26/10;H02N1/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在光学器件中,第1、第2、第3和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下分别配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间、第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间、第3支承部与可动部的第1端部之间和第4支承部与可动部的第2端部之间。第1和第2支承部分别具有以其厚度大于第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部和第2梁部。第3和第4支承部分别具有以其厚度大于第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部和第4梁部。 | ||
搜索关键词: | 光学 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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