[发明专利]用于真空泵送和/或减排系统的模块在审
申请号: | 201880073613.4 | 申请日: | 2018-11-09 |
公开(公告)号: | CN111315987A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | H.德奥;H.肖;C.L.桑兹 | 申请(专利权)人: | 爱德华兹有限公司 |
主分类号: | F04B37/14 | 分类号: | F04B37/14;F04B41/00;F04C25/02;C23C14/00;F04C23/00;F04B39/14;C23C16/44 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 董均华;刘茜 |
地址: | 英国西萨*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一个或多个连接点位于顶部侧部处。模块在第一系统维度中具有等于固定系统值的第一整数倍数的最大大小,第一系统维度是在横向侧部之间的维度。对于每个连接点,在第一系统维度中在该连接点和每个横向侧部之间的距离是固定系统值的相应第二整数倍数。 | ||
搜索关键词: | 用于 真空泵 系统 模块 | ||
【主权项】:
暂无信息
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