[发明专利]流化床式反应容器及三氯硅烷的制造方法有效

专利信息
申请号: 201880074810.8 申请日: 2018-11-16
公开(公告)号: CN111372891B 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 弘田贤次;荻原克弥 申请(专利权)人: 株式会社德山
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107;B01J8/24
代理公司: 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 代理人: 刘金峰
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种能抑制反应容器内壁的腐蚀/损耗的流化床式反应容器及三氯硅烷的制造方法。流化床式反应容器使金属硅粉体与氯化氢气体进行反应而生成三氯硅烷。具备立设于容器主体的底面即分散盘(11)上的多个喷出喷嘴(20)。在喷出喷嘴(20)上形成有将氯化氢气体向侧方吹出的气体喷出开口(22a)。在多个喷出喷嘴(20)中的与容器主体的外壁(10a)邻接的第一喷出喷嘴(20a)上,以不会向外壁(10a)侧吹出氯化氢气体的方式形成有气体喷出开口(22a)。
搜索关键词: 流化床 反应 容器 硅烷 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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