[发明专利]金属板和使用其的沉积掩模在审
| 申请号： | 201880074868.2 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN111373070A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李相侑;金南昊;曹荣得 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/00;C22C38/40 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 谭天;孙雅雯 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据一个实施方案的用于制造沉积掩模的金属板具有30μm或更小的厚度并且包含含有氧(O)和铬(Cr)的铁(Fe)‑镍(Ni)合金金属材料，其中金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，金属材料包括外部部和排除外部部的内部部，所述外部部包括表面，在距离表面14nm或更小的深度范围内，外部部具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最大原子浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 使用 沉积 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LG伊诺特有限公司，未经LG伊诺特有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880074868.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：线束保护器及线束组件
- 下一篇：无线电通信设备及其控制方法
- 同类专利
- 专利分类
