[发明专利]衬底保持器、衬底支撑件和将衬底夹持至夹持系统的方法在审
| 申请号： | 201880075157.7 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111406235A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | A·A·索图特;T·波耶兹 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种将衬底(W)夹持至夹持系统的方法，所述方法包括以下步骤：提供衬底保持器(200)，所述衬底保持器包括：主体(210)，具有第一主体表面(212)和第二主体表面(214)，其中所述第一主体表面和第二主体表面在所述主体的相反侧上；和多个第一突节(220a，220b)，从所述第一主体表面突出，其中每个第一突节具有配置成支撑所述衬底的远端表面；提供用于支撑所述衬底保持器的支撑表面(300)；提供多个第二突节(240)，所述多个第二突节用于通过所述支撑表面与多个第二突节的远端表面接触而将所述衬底保持器支撑在所述支撑表面上；生成第一力以将所述衬底保持器吸引至所述支撑表面；将所述衬底放置在所述衬底保持器上，以使得所述衬底接触所述多个第一突节；生成第二力以将所述衬底吸引至所述衬底保持器；和控制在释放步骤中的所述第一力和第二力中的至少一个，以使得所述主体在第二突节之间变形，从而在第一子集的多个第一突节的远端表面和衬底之间产生间隙(225，226)，并使得所述衬底被支撑在第二子集的所述多个第一突节的远端表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 保持 支撑 夹持 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880075157.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
