[发明专利]负型感光性硅氧烷组合物、以及使用了其的固化膜和电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201880076350.2 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111386499A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 林昌伸 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | [目的]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其可形成耐热性以及开裂极限膜厚优异的固化膜。[手段]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物，其包含：含特定量硅烷醇的聚硅氧烷、特定的光碱产生剂颗粒、以及溶剂。硅烷醇的含有率利用FT‑IR测定。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 硅氧烷 组合 以及 使用 固化 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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