[发明专利]可动态地调整面板温度的离子源及其设备有效
| 申请号： | 201880079272.1 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111448638B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 艾力克斯恩德·S·培尔;大卫·P·斯波德莱;亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼;奈尔·J·巴森 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/18 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种可动态地调整面板温度的离子源及其设备。本发明公开一种用于使离子源的面板的温度变化的系统及方法。所述面板是通过多个紧固件而被抵靠离子源的腔室壁进行固持。这些紧固件可包括拉伸弹簧或压缩弹簧。通过改变拉伸弹簧或压缩弹簧在承受载荷时的长度，可增大弹簧的弹簧力。弹簧力的此种增大会增大面板与腔室壁之间的压缩力，从而形成改善的导热性。在某些实施例中，通过电子长度调整器来调节弹簧的长度。此电子长度调整器与控制器进行通信，所述控制器输出指示弹簧的所需长度的电信号。本发明公开用于调整弹簧的长度的各种机构。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 调整 面板 温度 离子源 及其 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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