[发明专利]太阳能电池的制造方法在审
| 申请号： | 201880086006.1 | 申请日： | 2018-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN111566825A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 三岛良太;足立大辅 | 申请（专利权）人： | 株式会社钟化 |
| 主分类号： | H01L31/0747 | 分类号： | H01L31/0747;H01L21/306;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;朝鲁门 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明高效地制造背结型太阳能电池。是包含晶体基板(11)的太阳能电池(10)的制造方法，包括第1工序～第5工序，第2工序中，对于p型半导体层(13p)，依次层叠形成第1提离层(LF1)和第2提离层(LF2)，第4工序中，对于第3工序中残留的第2提离层(LF2)和没有p型半导体层(13p)的非形成区域，层叠形成n型半导体层(13n)，第5工序中，使用第1蚀刻溶液，除去第1提离层(LF1)和第2提离层(LF2)，也除去在第2提离层(LF2)层叠的n型半导体层(13n)。而且，相对于第1蚀刻溶液的、p型半导体层(13p)、第1提离层(LF1)和第2提离层(LF2)的蚀刻速度满足特定的关系式。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 制造 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
