[发明专利]框架一体型掩模及框架一体型掩模的制造方法在审
申请号: | 201880086540.2 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111656552A | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 李裕进 | 申请(专利权)人: | 悟勞茂材料公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;C23C14/04 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 姜虎;陈英俊 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种框架一体型掩模及框架一体型掩模的制造方法。根据本发明的框架一体型掩模,其由多个掩模(100)与用于支撑掩模(100)的框架(200)一体形成,其特征在于,框架(200)具有:边缘框架部(210),其包括中空区域(R);以及掩模单元片材部(220),其具有多个掩模单元区域(CR)且连接于边缘框架部(210),各掩模(100)连接于掩模单元片材部(220)的上部。 | ||
搜索关键词: | 框架 体型 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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