[发明专利]磁检测装置及其制造方法有效
申请号: | 201880086933.3 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN111630402B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 斋藤正路 | 申请(专利权)人: | 阿尔卑斯阿尔派株式会社 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09;H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴秋明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 具备具有固定磁化方向(P)和偏置施加方向(F)的关系彼此不同的两个种类的磁阻效应膜(MR1、MR2)的磁检测元件(M1、R2)被设置在同一基板(SB)上的全桥电路(HB)的磁检测装置(100)通过具备阻隔温度(Tb)不同的反铁磁性层的3个种类以上的交换耦合膜(511、512、521、522)设定了固定磁化方向(P)以及偏置施加方向(F),因此具有强磁场耐性,也容易制造,制造自由度高。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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