[发明专利]基于计算量测的采样方案在审
| 申请号： | 201880088371.6 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111670411A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | W·T·特尔;张祎晨;S·罗伊 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N21/956 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于生成针对图案化过程的量测采样方案的方法，所述方法包括：获取用于衬底的图案化过程的参数的参数图；由硬件计算机系统分解所述参数图以生成对所述图案化过程的设备和/或所述图案化过程的设备的组合特定的指纹；和基于所述指纹，由所述硬件计算机系统，生成用于在所述图案化过程的设备和/或所述图案化过程的设备的组合处的后续衬底的量测采样方案，其中，所述采样方案被配置为在所述后续衬底上分布采样点，以便提高量测采样密度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 计算 采样 方案 | ||
【主权项】：
暂无信息
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