[发明专利]化学品过滤器固定装置在审
| 申请号： | 201880089585.5 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111727498A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 禹泳喆;尹炳春;宋勇益;金荣光 | 申请（专利权）人： | 系统科技公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B01D35/30;B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 习瑞恒;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种化学品过滤器固定装置，在自动更换化学品过滤器的情况下，坚固地固定过滤器组件的外壳和头部，进而可防止化学品泄漏。用于实现该目的的本发明的化学品过滤器固定装置用于固定过滤器组件(2)，所述过滤器组件(2)由过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)构成，所述过滤器外壳(20)内部配置有滤芯(10)，所述过滤器头部(30)形成有多个连接部(31～34)，所述多个连接部(31～34)连接于所述过滤器外壳(20)的开放的一侧，以使化学品流进或者排放，所述化学品过滤器固定装置包括过滤器组件安装部(300、300‑1、300‑2)，安装所述过滤器组件(2)，以通过驱动部的驱动使所述过滤器外壳(20)和过滤器头部(30)的相互接触部分紧贴。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 过滤器 固定 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
