[发明专利]线形状检查装置以及线形状检查方法有效
| 申请号： | 201880089682.4 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111801545B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 雨宫茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社新川 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京武藏村*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可更确实地检测线的形状的线形状检查装置以及线形状检查方法。线形状检查装置具有：照相机(14)，自上方拍摄线(110)；灯(16)，自上方照射线(110)；以及控制部(18)；且控制部(18)进行：检查图像获取处理，通过一边变更焦点距离一边利用照相机(14)对线(110)进行多次拍摄，而获取多个检查图像；以及第一形状检测处理，在检查图像中，确定灯(16)的光由线(110)反射的反射光的像部分即发光部，且基于发光部在检查图像中的位置与获取检查图像时的焦点距离，来确定发光部在现实中的位置即实际发光部位置。 | ||
| 搜索关键词： | 线形 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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