[发明专利]用于生产多层压印母版的方法、多层压印母版及多层压印母版的用途在审
| 申请号： | 201880090964.6 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112219164A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 约翰·马尔塔比 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用于生产多层压印母版的方法。所述方法包括：提供基板(10)，所述基板具有主表面(10A)，所述主表面提供第一平面(11)；及在基板(10)中产生第一组特征(21)。第一组特征(21)提供低于第一平面(11)的第二平面(12)。此外，所述方法包括在基板(10)上产生第二组特征(22)。第二组特征(22)提供高于第一平面(11)的第三平面(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 多层 压印 母版 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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