[发明专利]光脉冲展宽器、激光装置及电子器件的制造方法有效
申请号: | 201880092212.3 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN112005454B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 芦川耕志 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于英慧;崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 光脉冲展宽器具备:分离光学元件,其将入射到第一面的脉冲激光分离为第一透射光和第一反射光;反射光学系统,其引导第一反射光,使其入射到分离光学元件的与第一面相反侧的第二面,保持部件,其配置在反射光学元件的背面侧,保持反射光学元件。 | ||
搜索关键词: | 脉冲 展宽 激光 装置 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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