[发明专利]能量计测装置和准分子激光装置在审
| 申请号： | 201880093960.3 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN112204831A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 渡边阳介;守屋正人 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/225 | 分类号： | H01S3/225;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个观点的能量计测装置使主光的一部分在第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器依次反射而输入到能量传感器。配置第1分束器、第2分束器、第3分束器和第4分束器，以成为抑制由于主光的入射角变化和偏振纯度变化而引起的能量传感器的检测值的变化的入射角、光路的折曲方向。 | ||
| 搜索关键词： | 量计 装置 准分子激光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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