[发明专利]磁悬浮系统、磁悬浮系统的底座、真空系统、及在真空腔室中非接触地保持及移动载体的方法

摘要

一种用于在真空腔室中非接触地保持及移动载体的磁悬浮系统，包括底座，界定传送轨道；载体，沿着传送轨道在底座的上方是可移动的；以及至少一个磁性轴承，用于在底座及载体之间产生磁悬浮力。所述至少一个磁性轴承包括布置于底座的第一磁体单元及布置于载体的第二磁体单元。磁悬浮系统更包括磁性侧向稳定装置，用于在侧向方向中稳定载体，磁性侧向稳定装置包括布置于底座的稳定磁体单元；其中第一磁体单元及第一稳定磁体单元的至少一者布置在底座的壳体空间中，壳体空间通过分隔壁与真空腔室的内部容积分隔。