[发明专利]叠层膜及Ag合金溅射靶在审
| 申请号： | 201880098094.7 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN112752863A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 岁森悠人;松崎秀治;盐野一郎 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B32B9/00;B32B15/04;C03C17/36;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刁兴利;康泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种层叠膜(10)，其具备Ag合金膜(11)以及层叠在该Ag合金膜(11)的两面的透明介电膜(12)，其特征在于，Ag合金膜(11)总计含有0.5原子％以上且8.0原子％以下范围的Sn或Ge中的至少一种以上，而且Na、K、Ba及Te的总含量为50质量ppm以下且碳含量为50质量ppm以下，剩余部分由Ag和不可避免的杂质构成。 | ||
| 搜索关键词： | 叠层膜 ag 合金 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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