[其他]薄膜ESD保护器件

摘要

本实用新型提供薄膜ESD保护器件(101)，具备：具有第1主面(PS1)和第2主面(PS2)的半导体基板(21)、形成于第1主面(PS1)的第1绝缘层(TL1)、形成于第2主面(PS2)的第2绝缘层(TL2)、第1输入输出电极(P1)、第2输入输出电极(P2)、接地电极(GP1、GP2)、二极管元件(D1)、电容器元件(C1)、和电感器元件(L1)。电容器元件(C1)和二极管元件(D1)形成于第1主面(PS1)侧，电感器元件(L1)形成于第2主面侧。电感器元件(L1)经由从第1主面(PS1)贯通至第2主面(PS2)的第1导通导体(TSV1)和第2导通导体(TSV2)而与第1输入输出电极(P1)和第2输入输出电极(P2)分别连接。

主权项

1.一种薄膜ESD保护器件，其特征在于，具备：半导体基板，具有相互对置的第1主面和第2主面；第1绝缘层，形成于所述第1主面；第1输入输出电极、第2输入输出电极和接地电极，形成于所述第1绝缘层的表面；二极管元件，形成于所述半导体基板的所述第1主面侧，具有与所述第1输入输出电极电连接的第1端和与所述接地电极电连接的第2端；电容器元件，形成于所述半导体基板的所述第1主面侧，具有与所述第2输入输出电极电连接的第3端和与所述接地电极电连接的第4端；和电感器元件，形成于所述半导体基板的所述第2主面侧，具有第5端和第6端，所述电感器元件的所述第5端经由从所述半导体基板的所述第1主面贯通至所述第2主面的第1导通导体而与所述第1输入输出电极电连接，所述电感器元件的所述第6端经由从所述半导体基板的所述第1主面贯通至所述第2主面的第2导通导体而与所述第2输入输出电极电连接。