[发明专利]一种显示基板线路修补方法

摘要

本发明提供了一种显示基板线路修补方法，包括：提供一形成有像素驱动电路的基板样品；利用光学显微镜，获取基板样品的光镜图像；利用双束聚焦离子束设备，获取基板样品的电镜图像；根据光镜图像与电镜图像，确定基板样品上待线路修补的薄膜晶体管的源极、漏极和栅极定位位置；在基板样品上对应待线路修补的薄膜晶体管的源极、漏极和栅极定位位置打孔；在源极、漏极和栅极打孔位置处分别沉积金属扎针盘；通过电学测试设备，利用金属扎针盘进行电学测试。本发明的显示基板线路修补方法能够对待线路修补的薄膜晶体管进行准确地定位，提高线路修补成功率，节约定位时间。

主权项

1.一种显示基板线路修补方法，用于对显示基板上的薄膜晶体管进行线路修补；其特征在于，所述方法包括：提供一形成有像素驱动电路的基板样品，所述基板样品上的像素驱动电路包括薄膜晶体管及多种信号走线；利用光学显微镜，获取所述基板样品的光镜图像；利用双束聚焦离子束设备，获取所述基板样品的电镜图像；根据所述光镜图像与所述电镜图像，确定所述基板样品上待线路修补的薄膜晶体管的源极、漏极和栅极定位位置；在所述基板样品上对应所述待线路修补的薄膜晶体管的所述源极、所述漏极和所述栅极定位位置打孔；在所述源极、所述漏极和所述栅极打孔位置处分别沉积金属扎针盘，以进行线路修补；通过电学测试设备，利用所述金属扎针盘对线路修补后的薄膜晶体管进行电学测试。