[发明专利]影像感测器、微透镜阵列以及用于制造在该影像感测器中具有不同高度的微透镜阵列的方法在审
申请号: | 201910003989.4 | 申请日: | 2019-01-03 |
公开(公告)号: | CN109996047A | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 谢于叡;陈柏男 | 申请(专利权)人: | 奇景光电股份有限公司 |
主分类号: | H04N9/097 | 分类号: | H04N9/097 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 蔡洪贵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种影像感测器、在该影像感测器的一像素尺寸等级中具有不同高度的一微透镜阵列以及用于制造在该影像感测器的像素尺寸等级中具有不同高度的一微透镜阵列的方法,本发明可以使用三种不同的光罩制造在该影像感测器的像素尺寸等级中具有不同高度的一微透镜阵列,并且本发明所揭露的在该影像感测器中的像素尺寸等级中具有不同高度的该微透镜阵列能够以较低成本为该影像感测器中的每一感光二极体提供相同的焦深(或几乎相同的焦深)。 | ||
搜索关键词: | 影像感测器 微透镜阵列 像素 焦深 制造 低成本 二极体 感光 光罩 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造在一影像感测器中具有不同高度的一微透镜阵列的方法,其中所述影像感测器具有一彩色滤光片阵列,所述彩色滤光片阵列包含有分别对应于所述影像感测器的每一像素与每一感光二极体的复数个第一彩色滤光片、复数个第二彩色滤光片以及复数个第三彩色滤光片,以及所述方法包含有:在所述彩色滤光片阵列上形成一微透镜材料层;利用一第一光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第一彩色滤光片对应的所述微透镜材料层;利用一第二光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第二彩色滤光片对应的所述微透镜材料层;利用一第三光罩漂白与所述影像感测器的每一像素上方的每一第三彩色滤光片对应的所述微透镜材料层;以及回流已被漂白的所述微透镜材料层以形成具有不同高度的所述微透镜阵列。
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