[发明专利]一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板

摘要

本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板，涉及薄膜晶体管制造技术领域，能够解决现有技术中在制作源漏层时由于使用干法刻蚀工艺而引入大量杂质或瑕疵，从而导致产品良率较低的问题。所述薄膜晶体管包括：在第一绝缘层上形成平坦层；在平坦层上制作无机绝缘薄膜；在无机绝缘薄膜上涂覆光刻胶，进行曝光和显影，并采用干法刻蚀工艺刻蚀无机绝缘薄膜，以形成层间介质层图案；层间介质层图案包含有用于连接有源层图案的过孔和用于形成导电走线的线槽；剥离掉无机绝缘薄膜上的光刻胶；形成覆盖层间介质层图案的导电薄膜；采用研磨工艺研磨导电薄膜，以形成源极、漏极和导电走线。本发明用于显示装置。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括：在第一绝缘层上形成平坦层；在所述平坦层上制作无机绝缘薄膜；在所述无机绝缘薄膜上涂覆光刻胶，进行曝光和显影，并采用干法刻蚀工艺刻蚀所述无机绝缘薄膜，以形成层间介质层图案；所述层间介质层图案包含有用于连接有源层图案的过孔和用于形成导电走线的线槽；剥离掉所述无机绝缘薄膜上的光刻胶；形成覆盖所述层间介质层图案的导电薄膜；采用研磨工艺研磨所述导电薄膜，以形成源极、漏极和导电走线。