[发明专利]一种多晶硅料的清洗装置和清洗方法在审
| 申请号： | 201910007167.3 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN109701947A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 王文明;牛强;周斌;颜艺专 | 申请（专利权）人： | 内蒙古鄂尔多斯电力冶金集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王文君;王文红 |
| 地址： | 016064 内蒙古自治区鄂尔多斯*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅料的清洗装置和清洗方法，所述清洗装置包括加热装置、酸清洗液罐、纯水罐、硅料容器、酸液回收罐；所述酸清洗液罐顶部通过酸蒸汽进口管连接于所述的硅料容器，所述纯水罐通过水蒸气进口管连接于所述的硅料容器；所述硅料容器顶部连接所述酸液回收罐，所述酸液回收罐通过重力自流管连接所述清洗液罐。本发明提出的硅料清洗装置和清洗方法，采用混合酸蒸汽与硅料接触清洗的方式，混合酸蒸汽相比液相酸液温度高，清洗效率更高，效果更佳。相比传统酸浸泡的方法，本方法对原生硅料尺寸无特定要求。相比于传统超声清洗，本清洗装置整体体系属于密闭体系，避免酸蒸汽扩散至空气，避免对清洗操作人员与环境的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 硅料 清洗装置 清洗 酸液回收罐 清洗液罐 多晶硅料 纯水罐 管连接 混合酸 酸蒸汽 蒸汽 硅料清洗装置 水蒸气进口 传统超声 加热装置 密闭体系 清洗操作 清洗效率 容器顶部 整体体系 重力自流 进口管 酸浸泡 液相酸 原生硅 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅料的清洗装置，其特征在于，包括加热装置、酸清洗液罐、纯水罐、硅料容器、冷却器、酸液回收罐；在所述酸清洗液罐和纯水罐的底部设置所述加热装置，所述酸清洗液罐顶部通过酸蒸汽进口管连接于所述的硅料容器，所述纯水罐通过水蒸气进口管连接于所述的硅料容器；所述硅料容器顶部顺序连接所述冷却器和酸液回收罐，所述酸液回收罐通过重力自流管连接所述清洗液罐。
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