[发明专利]一种防污染片式组合挡板在审
| 申请号： | 201910018497.2 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109852942A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;王德苗;金浩;顾为民;顾骏 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;俞翠华 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防污染片式组合挡板，包括N个片式拼接件，片式拼接件包括平板，平板上位于第一方向上的两个侧部设有第一搭接结构，平板上位于第二方向上的两个侧部分别设有第二搭接结构和第三搭接结构，M个片式拼接件沿水平方向设置，前一片式拼接件的第二搭接结构与后一片式拼接件的第三搭接结构相连；各沿水平方向设置的片式拼接件上位于第一方向的两侧分别设有拼接组件，拼接组件包括L个沿竖直方向上设置的片式拼接件，上一片式拼接件端部的第一搭接结构与下一片式拼接件端部的第一搭接结构相连。本发明能实现不同尺寸的镀膜腔体采用统一的挡板，降低制备成本，防止整片式挡板在镀膜时的过量形变导致设备无法正常工作。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接件 搭接结构 片式 一片式 水平方向设置 挡板 拼接组件 组合挡板 防污染 镀膜腔体 整片式 形变 镀膜 竖直 制备 过量 统一 | ||
【主权项】：
1.一种防污染片式组合挡板，其特征在于，包括N个片式拼接件，各片式拼接件均包括平板，所述平板上位于第一方向的两个侧部均设有第一搭接结构；所述平板上位于第二方向上的两个侧部分别设有第二搭接结构和第三搭接结构，所述第二方向与第一方向为垂直关系；其中，M个片式拼接件沿水平方向顺次设置，前一个片式拼接件的第二搭接结构与后一个片式拼接件的第三搭接结构相配合，实现连接；各沿水平方向设置的片式拼接件上位于第一方向的两侧分别设有拼接组件，所述拼接组件包括L个沿竖直方向上顺次设置的片式拼接件，上一个片式拼接件端部的第一搭接结构与下一个片式拼接件端部的第一搭接结构相配合，实现连接；所述L、M和N满足下列公式：(2L+1)*M＝N。
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