[发明专利]孔径校准方法及多带电粒子束描绘装置有效
| 申请号： | 201910022374.6 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN110018618B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 饭塚修 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘英华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实施方式的孔径校准方法具备，使用消隐孔径阵列来切换多束的各束的开启/关断的工序；及使用检测器来检测工作台上的束电流的工序。将多束中的一部分束设为开启，对上述消隐孔径阵列进行扫描，根据基于上述检测器的上述束电流的检测结果及上述消隐孔径阵列的位置，制作电流量图。切换设为开启的束，按每个开启束制作上述电流量图。根据每个上述开启束的电流量图，调整上述消隐孔径阵列的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 校准 方法 带电 粒子束 描绘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种孔径校准方法，具备：放出带电粒子束的工序；使上述带电粒子束在成形孔径阵列的多个开口通过从而形成多束的工序；使用配置成消隐孔径阵列的多个消隐器，进行切换上述多束中的各个对应的束的开启/关断的消隐偏转的工序；以及使用在能够载置基板的工作台上所设置的检测器，检测该工作台上的束电流的工序，将上述多束中的一部分束设为开启，对上述消隐孔径阵列进行扫描，并根据基于上述检测器的上述束电流的检测结果及上述消隐孔径阵列的位置，制作电流量图，切换设为开启的束，并按每个开启束制作上述电流量图，根据每个上述开启束的电流量图，调整上述消隐孔径阵列的位置。
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