[发明专利]一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板有效
| 申请号： | 201910023967.4 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109628886B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘彬 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；第一蒸发线源的喷嘴和第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；第一蒸发线源和第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，第一蒸发线源的待蒸镀区和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小。本发明以实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 方法 混合 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。
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