[发明专利]基片卸载机械手及基片加工系统有效
| 申请号： | 201910026240.1 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109719706B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 姚远;李玉敏;费玖海 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J13/08;B25J19/00;B08B3/02;B24B41/00;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨鹏 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及IC加工设备技术领域，尤其是涉及一种基片卸载机械手及基片加工系统。基片卸载机械手包括基座、缓冲装置和浮动托盘；基座和浮动托盘均呈环臂状，浮动托盘位于基座上方；缓冲装置位于浮动托盘和基座之间，用于调整两者之间的相对位置；浮动托盘上设置有定位座，定位座上设置有用于定位抛光头的抛光头定位斜面和用于定位卸载后的基片的基片定位斜面。本申请的基片卸载机械手能够配合驱动装置直接将抛光头上的基片取下，并且在卸载基片时能够通过定位座、缓冲装置和浮动托盘的配合实现浮动托盘位置的调整，而浮动托盘的摆动能够使其与抛光头自适应对心，修正设备误差造成的影响，实现了基片的稳定卸载，且卸载过程操作简单、占用空间小。 | ||
| 搜索关键词： | 卸载 机械手 加工 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基片卸载机械手，其特征在于，包括基座、缓冲装置和浮动托盘；所述基座和所述浮动托盘均呈环臂状，且所述浮动托盘位于所述基座上方；所述缓冲装置位于所述浮动托盘和所述基座之间，用于调整所述浮动托盘和所述基座的相对位置；所述浮动托盘上设置有定位座，所述定位座上设置有抛光头定位斜面和基片定位斜面；所述抛光头定位斜面呈弧形并与抛光头的底端边沿相适配，用于定位所述抛光头；所述基片定位斜面呈弧形并与基片的边沿相适配，用于承接所述基片以将其从所述抛光头上稳定取下。
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