[发明专利]掩膜板异物清除装置在审
| 申请号： | 201910028756.X | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109782551A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 王超 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;程晓 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜板异物清除装置，包括气体循环系统及静电除尘机构，所述气体循环系统包括密闭腔体、设置在密闭腔体上的吹气孔和吸气孔及设置在密闭腔体外侧分别与吹气孔和吸气孔连接的吹气管道和吸气管道，所述静电除尘机构设置在所述密闭腔体的入口外侧以在掩膜板进入所述密闭腔体内部之前对该掩膜板进行静电除尘处理，当掩膜板进入密闭腔体内部后，所述气体循环系统可对掩膜板做进一步清洁处理，通过气体循环系统及静电除尘机构可将掩膜板上的异物颗粒有效清除，节省了掩膜板的清洁时间，降低了掩膜板在清洁过程中的损坏风险。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 气体循环系统 密闭腔体 静电除尘机构 异物清除装置 吹气孔 密闭腔 体内部 吸气孔 吹气管道 静电除尘 清洁处理 清洁过程 吸气管道 异物颗粒 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板异物清除装置，其特征在于，包括气体循环系统(1)及静电除尘机构(2)；所述气体循环系统(1)包括密闭腔体(10)及设置在密闭腔体(10)外侧的吹气管道和吸气管道；所述密闭腔体(10)的两相对侧面上分别设有吹气孔(11)及吸气孔(12)，所述吹气管道和吸气管道分别与吹气孔(11)和吸气孔(12)连接；所述密闭腔体(10)一侧设有供掩膜板(9)进出密闭腔体(10)内部的入口及对入口进行封闭的挡板(15)；所述静电除尘机构(2)设置在所述密闭腔体(10)的入口外侧以在掩膜板(9)进入所述密闭腔体(10)内部之前对该掩膜板(9)进行静电除尘处理。
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