[发明专利]光学测量装置以及光学测量方法有效
申请号: | 201910030710.1 | 申请日: | 2019-01-14 |
公开(公告)号: | CN110274543B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 髙嶋润;近藤智则 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够减小所测量的距离的误差的光学测量装置以及光学测量方法。光学测量装置(100)包括:光源(10),发出光;传感头(30),将经对象物(TA)反射的反射光聚光;光接收部(40),构成为多个像素各自可检测光接收量,且针对所聚光的反射光而获得每个像素的光接收量分布信号;测量部(51),基于光接收量分布信号而测量光学测量装置(100)到对象物(TA)的距离;以及修正部(52),基于光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的测量距离。 | ||
搜索关键词: | 光学 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学测量装置,包括:光源,发出光;光学系统,将经对象物反射的反射光聚光;光接收部,构成为多个像素各自能检测光接收量,且针对所聚光的所述反射光而获得每个所述像素的光接收量分布信号;测量部,基于所述光接收量分布信号而测量所述光学测量装置到所述对象物的距离;以及修正部,基于所述光接收量分布信号的波形中的规定特性值而修正所测量的所述距离。
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