[发明专利]一种X射线探测器及具有其的显示设备有效
申请号: | 201910031219.0 | 申请日: | 2019-01-11 |
公开(公告)号: | CN109768062B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 卓恩宗 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L31/028;G01N23/04 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种X射线探测器及具有该X射线探测器的显示设备,其中X射线探测器包括:闪烁体,位于X射线探测器的入光侧并将X射线转换成可见光;薄膜晶体管;感光层,设于闪烁体与薄膜晶体管之间,感光层包括一透明导电薄膜及一介孔硅层,介孔硅层与薄膜晶体管的漏极电连接,透明导电薄膜设置于介孔硅层的入光侧;其中介孔硅层为均匀的多孔结构,且孔内填充有硅颗粒;遮光件,位于闪烁体与薄膜晶体管之间且与薄膜晶体管的有源层的位置对应,以遮挡有源层的入射光。本发明利用介孔硅作为光电转换层的X射线探测器对X射线的转换更加灵敏,且光电转换效率更高。 | ||
搜索关键词: | 一种 射线 探测器 具有 显示 设备 | ||
【主权项】:
1.一种X射线探测器,其特征在于,包括:闪烁体,位于所述X射线探测器的入光侧并将X射线转换成可见光;薄膜晶体管;感光层,设于所述闪烁体与所述薄膜晶体管之间,所述感光层包括一透明导电薄膜及一介孔硅层,所述介孔硅层与所述薄膜晶体管的漏极电连接,所述透明导电薄膜设置于所述介孔硅层的入光侧;其中介孔硅层为均匀的多孔结构,且孔内填充有硅颗粒;遮光件,位于所述闪烁体与薄膜晶体管之间且与所述薄膜晶体管的有源层的位置对应,以遮挡所述有源层的入射光。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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