[发明专利]一种硅片进出料归正结构及其归正方法

摘要

本发明公开了一种硅片进出料归正结构及其归正方法，通过在多条副传动轴上分别设置多组归正结构，且归正结构由宽变窄与多条副传动轴形成传动轴组合的一套归正装置，通过副传动轴旋转，放置在其上面的硅片被带动往前做直线运动，如果硅片不在归正区中间或歪斜，在碰到越来越窄的归正区归正挡轮，即可被及时调整歪斜状态。如果需要进行更大尺寸硅片切换，只需要松掉锁定螺母，然后将归正挡轮旋至所需要的位置即可，而不需要将整根副传动轴进行更换。

主权项

1.一种硅片进出料归正结构，包括底板，所述底板上设有主传动轴，所述主传动轴通过轴承支撑座固定在底板上，所述主传动轴上安装有多个主传动齿轮(1)，所述主传动齿轮(1)分别与主传动轴的一侧固定在底板上的多个副传动齿轮啮合，所述多个副传动齿轮分别连接多条副传动轴(2)，所述多条副传动轴(2)并列排列，其特征在于，所述并列的多条副传动轴(2)上分别并列设有用于归正硅片(3)的归正结构，所述并列设置的多个归正结构在同一中线上，所述并列的归正结构尺寸按照箭头A所示的硅片(3)运动方向，在多个副传动轴(2)上形成一套纵向排列且归正结构的尺寸由下至上逐渐变窄的归正装置；通过该归正装置，使硅片(3)在按箭头A所示的由下至上运动时，通过逐渐变窄的归正结构的尺寸来调整不在归正装置中间或歪斜的硅片(3)。