[发明专利]钢管连续式溅射镀膜机在审
| 申请号： | 201910038136.4 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109576660A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王峥;龙睿芬;薛道荣 | 申请（专利权）人： | 北京奥普科星技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人： | 白明珠 |
| 地址： | 102300 北京市门头沟*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本发明有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 第一腔室 传动组件 运输小车 啮合 溅射镀膜机 第二腔室 输送系统 真空泵组 连续式 回程 齿轮 齿条 钢管 行程开关机构 靶材利用率 膜层均匀性 镀膜效率 行驶导轨 成膜 首尾 后门 连通 前门 室内 | ||
【主权项】：
1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。
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