[发明专利]基板翻转装置在审
| 申请号： | 201910042829.0 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110092172A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 西尾仁孝;高松生芳;上野勉 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/248 | 分类号： | B65G47/248 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;李罡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本申请提供一种基板翻转装置，能够简化装置的结构且节约空间、进一步高效地进行基板的翻转。使基板(F)翻转的基板翻转装置(1)具备：第一吸附部(110)；第二吸附部(160)；在第一吸附部(110)的吸附面与第二吸附部(160)的吸附面相互对置的状态下使第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)一体地旋转半周的翻转机构(200)；选择性移送第一吸附部(110)以及第二吸附部(160)中的、在翻转机构(200)中被定位于移送位置(200a)的吸附部(100)的输送机构(300)。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 基板翻转装置 翻转机构 吸附面 翻转 基板 简化装置 节约空间 输送机构 移送位置 一体地 半周 对置 申请 | ||
【主权项】：
1.一种基板翻转装置，使基板翻转，其特征在于，所述基板翻转装置具备：第一吸附部；第二吸附部；翻转机构，在所述第一吸附部的吸附面与所述第二吸附部的吸附面相互对置的状态下使所述第一吸附部以及所述第二吸附部一体地旋转半周；以及输送机构，选择性移送所述第一吸附部以及所述第二吸附部中的在所述翻转机构中被定位于移送位置的吸附部。
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