[发明专利]一种激光标刻振镜高精度校正系统及方法在审

专利信息
申请号: 201910046542.5 申请日: 2019-01-18
公开(公告)号: CN109738164A 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 谭昌华;刘超源 申请(专利权)人: 深圳市鹏鼎自动化技术有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 深圳龙图腾专利代理有限公司 44541 代理人: 王春颖
地址: 518106 广东省深圳市光明新区公*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及激光标记技术领域,具体为一种激光标刻振镜高精度校正系统及方法。所述系统包括:振镜扫描模块,用于控制激光束偏转从而在振镜校正板上形成阵列标靶;所述振镜校正板,用于接受所述激光束的照射从而形成所述阵列标靶;图像采集和处理模块,用于采集并处理所述标靶的图像,从而得到用于振镜校正的振镜补偿文件,实现所述振镜扫描模块内振镜的校正。本发明通过利用振镜扫描模块在振镜校正板上打出阵列标靶,再利用图像采集装置对所述阵列标靶进行图像采集,对所述图像进行处理得到振镜补偿文件,通过所述振镜补偿文件,输入到振镜自带的软件系统实现振镜的校正。本发明实现了振镜的高效校正,无需专业的测量人员及昂贵的测量设备,自动化程度高。
搜索关键词: 振镜 标靶 校正 振镜扫描模块 振镜校正板 补偿文件 精度校正系统 激光标刻 图像采集和处理 图像采集装置 图像 激光束偏转 测量设备 激光标记 软件系统 图像采集 激光束 再利用 自带 照射 自动化 测量 采集
【主权项】:
1.一种激光标刻振镜高精度校正系统,其特征在于,所述系统包括:振镜扫描模块,用于控制激光束偏转从而在振镜校正板上形成阵列标靶;所述振镜校正板,用于接受所述激光束的照射从而形成所述阵列标靶;以及图像采集和处理模块,用于采集并处理所述标靶的图像,从而得到用于振镜校正的振镜补偿文件,实现所述振镜扫描模块内振镜的校正。
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