[发明专利]电荷量检测装置及方法有效
| 申请号： | 201910052128.5 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109786197B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姚明明;秦心宇 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317;G01R29/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电荷量检测装置，包括：支撑板；至少一个电荷承载单元，设置于所述支撑板上；至少一个电压检测单元，一一对应地与所述电荷承载单元电连接；控制单元，与各所述电压检测单元电连接。上述电荷量检测装置，电荷承载单元用于接受离子注入，电压检测单元与电荷承载单元和控制单元连接，控制单元可控制电压检测单元的不同时刻采集电荷承载单元上的电压信号，由于电压检测单元与电荷承载单元一一对应地连接，故控制单元可采集整个离子注入区域内每个电荷承载单元的电压，进而计算出每个电荷承载单元的电荷量，从而得到整个离子注入区域内电荷承载单元的电荷分布情况。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电荷量检测装置，其特征在于，包括：支撑板；至少一个电荷承载单元，设置于所述支撑板上；至少一个电压检测单元，一一对应的与所述电荷承载单元电连接；控制单元，与各所述电压检测单元电连接。
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