[发明专利]用于物理气相沉积腔室的双极准直器

摘要

本发明提供一种包括设置于物理气相沉积腔室中的双极准直器的设备和使用所述设备的方法。在一个实施方式中，设备包括腔室主体和设置在腔室主体上的腔室盖从而界定处理区于内、设置于处理区中的准直器及耦接至准直器的电源。

主权项

1.一种设备，所述设备包括：准直器，所述准直器具有蜂巢结构，所述蜂巢结界定延伸穿过所述准直器的多个孔，其中所述准直器具有中心区，所述中心区在第一周边区和第二周边区之间，其中所述第一周边区和第二所述周边区各自包含所述准直器的最外边缘，其中所述孔具有从所述中心区到所述第二周边区的减少的高度，并且所述第一周边区的深宽比的部分与所述中心区的深宽比的部分相同，其中所述第一周边区的所述孔具有与所述中心区的所述孔相同的高度，其中所述第一周边区、所述第二周边区和所述中心区共享顶表面，所述顶表面平行于所述第一周边区和所述中心区的第一底表面，其中所述第二中心区的第二底表面与所述顶表面和所述第一底表面相交。