[发明专利]近常压XPS系统的检测与维护方法有效
| 申请号： | 201910056860.X | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN109765255B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 崔义;王睿;龚忠苗;赵常保 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种近常压XPS系统的检测与维护方法，所述检测与维护方法包括步骤：将反应腔体中的粉末样品对准近常压XPS系统的信息采集口，对粉末样品进行检测；待检测完成后，调节反应腔中的气压和/或采集腔中的气压，使得采集腔中的气压大于反应腔中的气压，以将信息采集口和采集腔中的粉末吸附至反应腔中，采集腔与信息采集口连通。本发明提出的近常压XPS系统的检测与维护方法在对粉末样品进行检测完后，通过调节所述反应腔中的气压和/或采集腔中的气压，使得所述采集腔中的气压大于所述反应腔中的气压，利用所述采集腔与所述反应腔之间的气压差来将所述信息采集口和所述采集腔中的粉末样品吸附至所述反应腔中，简化了清除过程，提升了清除效率。 | ||
| 搜索关键词： | 常压 xps 系统 检测 维护 方法 | ||
【主权项】：
1.一种近常压XPS系统的检测与维护方法，其特征在于，所述检测与维护方法包括步骤：将反应腔中的粉末样品对准所述近常压XPS系统的信息采集口，对所述粉末样品进行检测；待检测完成后，调节所述反应腔中的气压和/或采集腔中的气压，使得所述采集腔中的气压大于所述反应腔中的气压，以将所述信息采集口和所述采集腔中的粉末吸附至所述反应腔中，所述采集腔与所述信息采集口连通。
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