[发明专利]旋转锌镁靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910067522.6 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN109628899A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 曹兴民 | 申请（专利权）人： | 苏州罗纳尔材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C18/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 孙刚 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了旋转锌镁靶材及其制备方法，其是一种圆柱形结构，其包括中空的筒形的金属衬管，以及包覆在所述衬管外周壁上的靶材层；所述靶材层为锌镁合金，其中，镁的重量百分比为2~5%，其余为锌。本发明把合金材料直接浇铸在衬管上，与衬管的接合强度高。采用电阻炉坩埚下浇的方法，避免溶液表面的氧化浮渣进入模具，避免浇铸过程镁元素的氧化燃烧。采用由下向上的顺序凝固方法，结合浇铸速度和冷却速度的控制，可以达到排气排渣、避免缩孔，解决铸造的常见缺陷问题。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 衬管 浇铸 锌镁 制备 电阻炉坩埚 圆柱形结构 重量百分比 合金材料 金属衬管 缺陷问题 溶液表面 顺序凝固 锌镁合金 氧化燃烧 接合 镁元素 外周壁 中空的 包覆 浮渣 排渣 缩孔 筒形 排气 模具 冷却 铸造 | ||
【主权项】：
1.旋转锌镁靶材，其是一种圆柱形结构，其特征在于：其包括中空的筒形的金属衬管，以及包覆在所述衬管外周壁上的靶材层；所述靶材层为锌镁合金，其中，镁的重量百分比为2~5%，其余为锌。
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