[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201910067829.6 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN109518135A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 贾俊兰;张亮;王选生 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法，涉及蒸镀技术领域，为解决现有技术中蒸镀设备所蒸镀出的膜厚在线性蒸发源的长度方向上不均匀的问题而发明。该蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，线性蒸发源设置于蒸发源载台上，基板载台位于蒸发源载台的上方，蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在移动驱动装置的驱动下，蒸发源载台和基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动；在旋转驱动装置的驱动下，蒸发源载台、基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使线性蒸发源的两个端部相对基板载台的位置能够对调。本发明可用于OLED显示面板中有机发光材料的蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀设备 蒸发源 载台 蒸镀 线性蒸发源 基板载台 旋转驱动装置 移动驱动装置 有机发光材料 驱动 竖直轴线 相对基板 相对移动 蒸镀腔室 不均匀 可用 膜厚 对调 转动 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室、蒸发源载台、基板载台以及线性蒸发源，所述蒸发源载台、所述基板载台、所述线性蒸发源均设置于所述蒸镀腔室内，所述线性蒸发源设置于所述蒸发源载台上，所述基板载台位于所述蒸发源载台的上方，其特征在于，所述蒸镀设备还包括移动驱动装置和旋转驱动装置，在所述移动驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台和所述基板载台之间能够在第一方向上发生相对移动，所述第一方向为与竖直方向、所述线性蒸发源的长度方向均垂直的方向；在所述旋转驱动装置的驱动下，所述蒸发源载台、所述基板载台中的至少一个能够分别绕一竖直轴线转动，以使所述线性蒸发源的两个端部相对所述基板载台的位置能够对调。
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