[发明专利]用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器有效
| 申请号： | 201910073286.9 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN110085269B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 余坤祺;张泷;P·哈恩;D·格莱斯;A·亚图拉威特 | 申请（专利权）人： | 马格内康普公司 |
| 主分类号： | G11B21/16 | 分类号： | G11B21/16;G11B21/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器，包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、以及上电极层。下电极层是位于PZT层的底表面上并且包括第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛。第二下电极岛包含从主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。中电极层在PZT层的顶表面与约束层的底表面之间设置。中电极层包括第一中电极岛以及第二中电极岛，所述第二中电极岛包含从所述主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硬盘驱动器 悬架 多层 微致动器 | ||
【主权项】：
1.一种多层微致动器，包括：压电(PZT)层；约束层；位于所述PZT层的底表面上的下电极层，所述下电极层包含第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛，所述第二下电极岛包含指部以及主体，所述指部从所述主体朝向所述PZT层的第一端部延伸；在所述PZT层的顶表面与所述约束层的底表面之间设置的中电极层，所述中电极层包含第一中电极岛以及第二中电极岛，所述第二中电极岛包含指部以及主体部分，所述指部从所述主体部分朝向所述PZT层的第一端部延伸；以及位于所述约束层的顶表面上的上电极层。
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